Методы измерения, использующие датчики на основе кантилеверов
contentШироким классом устройств на базе АСМ являются бесконтактные детекторы, имеющие сходство с микро/наноэлектромеханическими системами (М/НЭМС), макетом которых можно считать датчики поверхностного натяжения железных пленок, в первый раз обрисованных Стони в…