Датчики и микроактюаторы на основе MEMS-технологий

content Ноя 11, 2016 0 Комментарии

Практически пригодилось более 30 лет на то, чтоб появилось 1-ое коммерческое приложение MEMS. Одной из первых MEMS-технологий, получивших повсеместное распространение, стали датчики ускорения (акселерометры), устанавливаемые на данный момент фактически во…