Конструктивные особенности и основные характеристики микроэлектромеханических устройств
contentМногие специалисты считают, что MEMS-технология привносит практически революционные конфигурации в каждую область внедрения методом совмещения микроэлектроники с микромеханической технологией, что позволяет воплотить систему на одном кристалле SoC (Systems-on-a-Chip). Так, разработка…