Корпускулярные характеристики частиц: электронов, ионов, нейтронов реализуются в электронографии, оже-спектроскопии, нейтронографии.

Электрическая и ионная оптика занимаются вопросами формирования, фокусировки и отличия пучков электронов и ионов и получения с помощью их изображений под воздействием электронных и магнитных полей в вакууме. Электрические и ионные изображения можно визуализировать на люминесцентном экране либо фотослое. Т. к. электрические пучки употребляют еще обширнее, чем ионные, очень распространён термин «электронная оптика» (ЭО).

Атомы рассеивают резвые электроны приблизительно на 6 порядков посильнее, чем рентгеновское излучение. Это обосновано зарядом электронов, взаимодействующим с кулоновским полем атомов. Благодаря эффективности кулоновского рассеяния электронов в электронографии употребляются плёнки материала шириной всего . При довольно продолжительном наблюдении появляется упорядоченная дифракционная картина рассредотачивания электрической плотности за прототипом, зависящая от структуры кристаллической решётки.

Способом газовой электронографии определяют структуру молекул с относительно маленьким числом колебаний в широком спектре температур.