SUMMiT

Датчики и микроактюаторы на основе MEMS-технологий

Практически пригодилось более 30 лет на то, чтоб появилось 1-ое коммерческое приложение MEMS. Одной из первых MEMS-технологий, получивших повсеместное распространение,…

8 лет ago